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本文采用三氯化硼作反应试剂,研究一种新的蚀刻二氧化锡薄膜工艺.此工艺可以蚀刻1.5μm的线条,其分辨率好且精度高。
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The system of boron trichloride and 1-bromopropane under CO_2 laser irradiation
CO2激光辐照三氯化硼-溴丙烷体系
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介绍了化学比色法测定三氯化硼中微量氯的过程及消除基体干扰的方法。
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